연구소
주요과제
비고
기술연구소
초저가 Chiller /THC 개발
차세대 초정밀 Chiller /THC 개발
고정밀 냉동기술 전문연구
반도체 분야 - 고정밀 CHILLER / THC 의 기반기술 및 제조기술
PDP 분야 - SCREEN MASK 의 기반기술 및 제조기술
LED 분야 - LED Package 개발기술 및 제조기술
No
출원구분
출원일
명칭
비고
1
실용신안
1999-11-13
2중 열교환기를 사용하는 다중채널 항온장치
획득
2
실용신안
1999-11-17
냉각핀 적층형 방열관을 이용한 항온항습급기장치
획득
3
실용신안
2001-10-09
매엽식 반도체 웨이퍼세정용 약액배액컵
획득
4
실용신안
2003-04-09
다중채널 방식의 냉동시스템
획득
5
실용신안
2003-04-09
폐열을 이용한 냉동 시스템
획득
6
특허
2000-04-26
스크린인쇄방법 및 장치
획득
7
특허
2001-02-08
양면 동시세정이 가능한 매엽식 웨이퍼 세정장치
획득
8
특허
2001-04-28
양면 동시세정이 가능한 매엽식 웨이퍼 세정장치
획득
9
특허
2001-05-18
매엽식 반도체 웨이퍼용 약액 분사노즐
획득
10
특허
2001-10-18
양면 동시세정이 가능한 매엽식 웨이퍼 세정장치
획득
11
특허
2001-12-13
반도체 제조장치
획득
12
특허
2004-11-25
글라스기판 온도제어용 근접 블로우
획득
